プラズマCVMによるGaNの加工（第3報） 電極形状の検討

鐘築 律夫; 中濱 康治; 舩木 毅; 棱野 勝; 佐野 泰久; 山村 和也; 遠藤 勝義; 森 勇藏

doi:10.11522/pscjspe.2006A.0.961.0

2006年度精密工学会秋季大会

セッションID: M34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006A.0.961.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密物理化学加工(1)

プラズマCVMによるGaNの加工（第3報）

電極形状の検討

*鐘築律夫, 中濱康治, 舩木毅, 棱野勝, 佐野泰久, 山村和也, 遠藤勝義, 森勇藏

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キーワード: 大気圧プラズマ, 塩素プラズマ, CVM, GaN

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抄録

本研究は，プラズマCVMによりGaN基板の表面の加工歪み層を除去し無歪み表面を実現することを目的としている．既に，高速加工が可能で，良好な結晶性を有する表面が得られることが分かったが，表面付着物が皆無ではなく，また，電極中央部において加工が進展しにくいことも判明した．そこで，電極内部にガス排出経路を有するガス吸引型電極を複数試作し，その吸引効果により，中央部の加工が促進され，付着物もないことを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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