マイクロエンドミルによるガラスの切削加工 工具先端位置センシングおよび切削液の化学的影響

横尾 一将; 柿沼 康弘; 青山 藤詞郎; 松村 隆; 角野 充彦

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.1029.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: M73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.1029.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密マイクロ機械加工(1)

マイクロエンドミルによるガラスの切削加工

工具先端位置センシングおよび切削液の化学的影響

*横尾一将, 柿沼康弘, 青山藤詞郎, 松村隆, 角野充彦

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キーワード: ガラス, マイクロ切削加工, センシング技術, エバネッセント光, 切削液, pH

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抄録

ガラスの透過性や化学的特性に着目し,マイクロエンドミルによるガラスの微細切削加工に関する研究を行った.まずガラス表面にエバネッセント光を発生させることにより,非接触でワークに対する工具先端位置を検知する技術を開発した。次にガラスと切削液界面の化学的作用に着目し、切削液のpHが加工面性状に及ぼす影響を調べた.切削液として水が有効であることを実験的に示した.

責任著者(Corresponding author)

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