繰り返し圧延法によるELID研削用アルミニウムボンド砥石の開発

抄録

砥石母材にアルミニウムを用いることで、塑性変形を利用した砥石開発を目指し、研削用途にあった砥石を提供することを目的とする。本研究は、繰り返し圧延法によって製作したペレットをウェハース状に積層することで砥石とし、製作した砥石がELID研削法に適応可能か、また、どのような特性が得られるかを調査する。