捻り超音波加振を用いたヘール加工における石英の加工特性

森代 健史郎; 鈴木 裕; 楢原 弘之; 是澤 宏之; 牛尾 雅樹

doi:10.11522/pscjspe.2006S.0.713.0

2006年度精密工学会春季大会

セッションID: I73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006S.0.713.0

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主催: 社団法人精密工学会

超音波振動を援用した加工技術(1)

捻り超音波加振を用いたヘール加工における石英の加工特性

*森代健史郎, 鈴木裕, 楢原弘之, 是澤宏之, 牛尾雅樹

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抄録

近年,化学の分野において分析装置のマイクロ化が急速に進んでおり,それらの構成材である脆性材の精密加工技術の発展が期待されている.切削加工の中で回転工具による加工は,回転痕による形状精度に問題がある.そこで今回,非回転工具を用いたヘール加工法に,切削抵抗値の低減,工具寿命の延伸が報告されている捻り超音波加振を付加し,脆性材の加工特性の検証を行う.

責任著者(Corresponding author)

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