捻り超音波加振ヘール加工法に関する研究

切りくず処理に関して

抄録

本研究では、捻り超音波加振ヘール加工法に着目し、石英の精密切削加工を行っている。エンドミル加工後の側面の仕上げ加工を想定し、ノコ刃形状の工具を用いた捻り超音波加振ヘール加工法による直線溝加工を試みた。その際、エッジ部に想定よりも大きなカケを生じた。本報では、このカケの要因の特定を、検証実験により明らかにすることを目的とした。具体的には、切りくずの工具への付着防止を試みたので、その結果を報告する。