小型自走機械群による超精密生産機械システム

第102報　インチワーム式球面3自由度マニピュレータの搭載

抄録

本研究では、XYθ型小型自走機械を応用した球面3自由度アクチュエータを開発した。このアクチュエータは鋼球を磁力で吸着しながら回転させるため非常に高トルクであり、マイクロツールの位置決めや試料の回転用の機構として最適である。この球面3自由度アクチュエータとXYθ型小型自走機械、マイクロツールを組み合わせることで、従来の微細作業システムより省スペース·多自由度なシステムを構築することに成功した。