マイクロ部品用形状・寸法測定装置の開発 ‐第5報‐

SFF法を用いた三次元画像測定との複合測定方式の導入

抄録

トンネル現象を利用した非接触三次元形状・寸法測定装置により，マイクロ部品の形状・寸法測定の研究を行ってきた．しかし，汎用的な測定には測定範囲が狭いこと，測定に時間がかかることが問題点である．そこで微小範囲の高精度測定には非接触三次元測定装置を用い，広範囲の高速測定には画像測定を用いる複合測定方式の導入について検討した．画像測定には，3次元マッピングを行う目的でSFF法による三次元測定方式を用いた．