マイクロ放電加工機の開発とその微細加工の事例

抄録

近年、工業製品の微細化と高精度化により、測定機器プローブのスタイラスも微細化が必須の課題となっている。プローブのスタイラスには用途の性質上、超硬材（難加工材）などが使用され、その微細加工の必要性が生じ、独自の設計によるマイクロ放電加工機を開発した。 本発表では開発したマイクロ放電加工機と φ10μｍ、アスペクト比 100 を超える超硬材の加工やモジュール 0.05 の歯車（インボリュート形状、軸付き）などの加工例を紹介する。