X線タルボ干渉計用回折格子の作製と評価

抄録

我々は新規で簡便な位相敏感X線撮像法として回折格子を用いるX線タルボ干渉計の利用を提案している。特長は二枚の回折格子を用いた単純な構成で、実験室用のX線源でも位相イメージングが可能である。しかし高アスペクト比の回折格子を必要とする。我々はX線リソグラフィや金メッキを用いてピッチ5.3μm、高さ28.3μm、面積60mm角の回折格子を作製した。また回折格子の評価を行い、40%のビジビリティを得た。