硬脆材料の鏡面研削に及ぼすミスト噴霧の効果

澁谷 秀雄; 池野 順一; 鈴木 章彦

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.227.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: C26

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.227.0

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主催: 社団法人精密工学会

硬脆材料の鏡面研削に及ぼすミスト噴霧の効果

*澁谷秀雄, 池野順一, 鈴木章彦

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キーワード: シリコンウエハ, 鏡面研削, ミスト噴霧

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抄録

これまで,電気泳動現象を用いて微粒子シリカを固定化した砥石による鏡面研削加工に関する研究を行ってきた.その結果,シリコンや水晶に対して乾式で焼けやスクラッチのない10nmRyの鏡面を得ることができるが,膨潤特性を有するために湿式での加工はできなかった.そこで本研究では,ミストを噴霧し,その効果について調査した.

責任著者(Corresponding author)

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