多価Arビームを用いたマイクロ加工(第4報)

多価Arイオンの照射量依存性

抄録

本研究は、多価Arイオンで、spin-on-glass(SOG)にリソグラフィー法による微細加工を行うための基礎研究である。これまでの研究では、90keVのAr1+とAr9+をCuマスクを通してＳＯＧに照射し、60秒のエッチングで加工された深さの照射量依存性について議論を行ってきた。今回は、加工精度や加工効率の照射量，エッチングによる変化を議論する。