YAGレーザを用いたガラスのインプリントに関する研究

抄録

本報ではレーザを用いたガラスのインプリント加工法を提案する.本インプリント法はガラス全体を加熱することなくガラス局部にレーザを照射し軟化膨張を利用して型形状を転写することが特徴である.本報では微細なラインアンドスペース形状やディンプル形状の転写成形を試みたので報告する.