レーザトラッピングプローブを用いたナノ3次元座標計測器の開発

位置決めステージの不確かさ解析

抄録

マイクロシステムの発展に伴い、ナノレベルの精度を保証する形状計測技術の向上が望まれている。本研究では、マイクロパーツを対象としたレーザトラッピングプローブを用いたナノCMMの開発を進めており、その仕様として、測定範囲10mm3以上に対して測定精度50nm以下を目標としている。本報では、レーザトラッピング技術を用いたナノCMMの構築を行い、基礎的な3次元計測を行ったので、これを報告する。