レジスト表面の形状測定(第四報) マルチボールカンチレバーの自律校正法の検討

劉 淑杰; 渡邉 健太郎; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.359.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: D47

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.359.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

レジスト表面の形状測定(第四報)

マルチボールカンチレバーの自律校正法の検討

*劉淑杰, 渡邉健太郎, 高橋哲, 高増潔

著者情報

キーワード: レジスト, 表面形状測定, マルチボールカンチレバー

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

半導体デバイスの微細化,微小化に伴って, ICチップの製作工程中にパッタン製作精度に強く影響があるレジスト薄膜の表面形状測定が強く望まれている.前報では,先端に直径10μmの球を取り付けたマルチボールカンチレバーを用いて表面形状装置を試作し,厚さ数百nm程度の試料を走査計測することで装置の特性を評価した.本報では,マルチボールカンチレバーを用いて広範囲に計測するため,ステージ誤差を除去する自律校正法について検討し,実験により有効性を示した.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）