走査型近接場光学顕微鏡のための2開孔プローブの開発(2) 試作した2開孔構造の近接場分布の評価

押鐘 寧; 奥田 満; 原 星児; 井上 晴行; 中野 元博; 片岡 俊彦

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.357.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: D46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.357.0

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主催: 社団法人精密工学会

走査型近接場光学顕微鏡のための2開孔プローブの開発(2)

試作した2開孔構造の近接場分布の評価

*押鐘寧, 奥田満, 原星児, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦

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キーワード: 走査型近接場光学顕微鏡, 光の近接場, 集束イオンビーム加工, 表面プラズモン, プローブ

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抄録

走査型近接場光学顕微鏡(SNOM)の高感度・高分解能プローブの基本構造として,電磁場シミュレーションに基づく金属薄膜上の2開孔構造の試作評価を行なっている.FIB加工により成形するサブμmオーダーの2開孔において,レーザー光によって励起された表面プラズモンが,薄膜裏面へ伝搬し,走査用プローブ光源として機能することを期待している.試作構造の近接場光分布を,微粒子プローブ型のSNOMによって観察した.

責任著者(Corresponding author)

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