光散乱法によるナノパーティクル測定機を用いたマイクロラフネス測定法の検出空間波長評価

抄録

本研究では、これまでに開発した光散乱法によるナノパーティクル測定機を用いて、超精密加工面をサブnmオーダの精度でラフネスの分布を測定できるマイクロラフネス測定法を開発し、AFMの平均粗さ値と同様の変化傾向であることを示した。今回は総強度に対する任意の半径までの積算強度の割合を求めて、光散乱法を用いたマイクロラフネス測定法における検出空間波長特性の評価を試みたので報告する。