精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: E35
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主催: 社団法人精密工学会

線幅標準に関する研究（第1報）
線幅境界の決定方法と測定
*澤内 佑介, 高橋 哲, 高増 潔
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抄録
半導体の線幅測定を行う際,SEM,AFM,光などを用いて測定を行う.いずれの手法も,絶対的な測定は不可能であり,そこで生じる線幅の不確かさの要因について検討したので,報告する.
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© 2007 公益社団法人　精密工学会
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