精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: F63
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シリコン超精密加工面のSubsurface Damageに関する研究
切削抵抗の解析による結晶相転移発生機構の検討
*朝見 徹閻 紀旺吉原 信人厨川 常元
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抄録
赤外線光学素子や半導体部品に多用される単結晶Siは延性モード切削加工により平滑な加工面が得られるが,結晶の相転移により加工面に非結晶Siが生じ光学・電子性能に影響を及ぼす.本研究では機械加工における相転移の発生メカニズムを解明し,相転移の無い完全な加工面の創成を目的としている.ラマン分光法により相転移の評価を行い切削条件の影響について調べた.また切削力から相転移の発生メカニズムについて考察した.
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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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