超音波援用研磨による高NAマイクロ非球面金型の超精密研磨 同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置の開発

鈴木 浩文; 稲垣 彰徳; 沖野 正; 土方 祥雄; 森脇 俊道; 近藤 光男; 樋口 俊郎; 牧野 俊清

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.553.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: F67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.553.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

超音波援用研磨による高NAマイクロ非球面金型の超精密研磨

同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置の開発

鈴木浩文, *稲垣彰徳, 沖野正, 土方祥雄, 森脇俊道, 近藤光男, 樋口俊郎, 牧野俊清

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キーワード: マイクロ非球面研磨, ワーク傾斜テーブル, 超硬合金, 高NAレンズ, 金型研磨

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抄録

本研究では,これまでに直線振動を用いた超音波援用研磨法を開発し,従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした.近年,高NAの非球面レンズのニーズが増大しており,本研究ではそれらに対応するために,同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置を開発し,その効果を評価した.

責任著者(Corresponding author)

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