PCD製マイクロフライス工具による高硬度材の超精密加工

超硬製マイクロアレイレンズ金型の超精密加工

抄録

超硬などのセラミックス製の非球面ガラス成形型は通常,ダイヤモンドホイールにより研削加工されているが,工具摩耗,加工技術が高度,加工できる形状に制限がある等の問題がある.そこで本研究ではPCD製マイクロフライス工具を開発し,超硬製非球面精密金型への適用を検討している.本報では斜軸用ダイヤモンドマイクロフライス工具を開発し,超硬合金製のマイクロアレイ金型の超精密加工の検討を行った.その結果,研削加工と同等の形状精度と,工具摩耗の顕著な低減が確認された.