マイクロ研削のためのレーザコンディショニング法に関する研究

國枝 泰博; 児玉 壮平; 松浦 寛; 吉原 信人; 閻 紀旺; 厨川 常元

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.575.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: F82

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.575.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ研削のためのレーザコンディショニング法に関する研究

*國枝泰博, 児玉壮平, 松浦寛, 吉原信人, 閻紀旺, 厨川常元

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キーワード: マイクロ研削, レーザー, 砥粒切れ刃密度

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抄録

近年,マイクロ非球面金型の創成を目的としたマイクロ研削加工の研究が盛んに行われている.マイクロ研削加工では,砥石径が小さい砥石を用いることから必然的に砥粒切れ刃密度が少なくなり仕上げ面粗さが悪くなる.そこで,本研究ではYAGレーザ第3高調波を用いて砥粒切れ刃密度を高めるレーザコンディショニング法を開発した.本報では開発した方法を用いた砥石を用いて研削実験を行った結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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