YAGレーザによるセラミックスのマイクロ三次元加工

松崎 直樹; 松坂 壮太; 渡部 武弘

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.763.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: H70

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.763.0

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主催: 社団法人精密工学会

YAGレーザによるセラミックスのマイクロ三次元加工

*松崎直樹, 松坂壮太, 渡部武弘

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抄録

新たなマイクロ金型材料としての利用が期待されているSiC,焼結ダイヤモンド,CVDダイヤモンドの各種セラミックスに対してYAGレーザ基本波(波長 1064nm)を照射し,レーザ加工を行った.照射エネルギーをパラメータとして穴あけ加工を行い,試料の物性値と加工特性との関係を調べた.得られた加工特性をもとに三次元加工を行い,高精度なマイクロ金型の作製を試みた.

責任著者(Corresponding author)

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