レーザ表面処理用回折型ビーム整形素子の設計と試作

抄録

高出力炭酸ガスレーザによる表面処理を目的に、表面処理に適した反射型平面ホログラム素子を設計・製作した。とくに、被加工物の表面付近での熱解析を行うことで、レーザ照射による溶融深さが均一になるようにレーザ光強度の分布を決定し、これを実現するためのホログラムを設計した。また、パターニングされたフォトレジストをマスクにして銅基板にメッキを施す方法でホログラム素子を試作し、ビーム整形の効果を確かめた。