ガラス磁気ディスク基板のポリシング抵抗の検討

抄録

近年筆者等は,ガラス磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシング加工を行っている.磁気ディスク基板のポリシング加工機構を検討するために,ポリシング抵抗を把握することは重要な事柄である.本研究では,各種ポリシング条件におけるポリシング抵抗を実験的に検討した.