3波長ワンショット干渉計測

抄録

筆者らは、これまでに、キャリア縞導入方式の2波長ワンショット干渉計測法を開発し、350nmの急峻な段差形状の測定に成功した。本研究では、3波長を用いることにより、さらなる測定レンジの拡大を試みた。本報では、3波長法に必要な要素技術の開発経過と、1μm段差試料の測定結果を報告する。