精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会秋季大会
セッションID: C31
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3波長ワンショット干渉計測
*北川 克一
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抄録

筆者らは、これまでに、キャリア縞導入方式の2波長ワンショット干渉計測法を開発し、350nmの急峻な段差形状の測定に成功した。本研究では、3波長を用いることにより、さらなる測定レンジの拡大を試みた。本報では、3波長法に必要な要素技術の開発経過と、1μm段差試料の測定結果を報告する。

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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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