小径ダイヤモンド電着軸付砥石の長寿命化を目指した目詰まり現象の調査

抄録

石英ガラスの高アスペクト比微細小径穴加工は、光ファイバー整列ブロックや半導体製造装置部品などの加工に不可欠な技術であり、加工コスト低減から更なる工具の長寿命化が求められる。工具である小径ダイヤモンド電着軸付砥石の折損原因の１つは、切りくずの目詰まりによる切れ味の低下である。本研究では、目詰まりによる加工抵抗の変化から、加工状態をインプロセスで計測し、目詰まりにいたるプロセスの解明を検討する。