光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発

装置の試作および評価実験

抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器などの微細加工技術の進歩に伴い，微細穴などの細かい幾何形状を測定する重要性は増加している．そこで，微細径の光ファイバプローブを用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では、装置を試作し，プローブの測定分解能評価などの性能評価を目的とした基礎実験の結果について述べる．