数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製

中性子集光用ミラーの作製 第三報

抄録

現在、日本原子力研究開発機構の原子炉や大強度陽子加速器施設であるJ-PARC等の中性子源施設では、形状精度がナノメータオーダの中性子集光用ミラーが要求されている。しかし、従来の機械加工では、その加工原理から要求精度を満たすことは困難である。我々が開発しているNC-LWE法は非接触かつ高精度な加工が可能である。本報では、新しい形状の合成石英製中性子集光用ミラーを作製し、形状及び表面粗さを評価した。