数値制御ローカルウエットエッチングによる二重湾曲分光結晶の加工

単結晶シリコン薄板の加工

抄録

微小粒子の蛍光X線分析を実現するためには、X線を単色化、集光することが必要である。X線の単色化、集光を行う素子の一種として、ブラッグ回折を利用した二重湾曲型のヨハンソン型分光結晶があげられるが、結晶表面に欠陥がないことが要求される。そこで分光結晶材料のSiの加工法として、化学反応を利用した数値制御ローカルウエットエッチング法(NC-LWE)を提案し、本稿では、5軸制御NC-LWE法におけるSi結晶の加工特性について述べる。