精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会秋季大会
セッションID: J73
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超精密加工用高速リニア駆動テーブルの研究開発
*山形 豊森田 晋也鈴木 浩文樋口 俊郎牧野 俊清吉田 和史近藤 光男
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抄録

非軸対称形状や自由曲面形状などの複雑な超精密形状を高速に加工するため,超精密加工装置に搭載可能な小型かつ高速な超精密リニア駆動テーブルを開発した.テーブルは,セラミックス製高剛性エアースライドと0.5nm分解能のスケールユニットを装備し,最大加速度約170Gを達成可能と見込まれる.

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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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