精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会春季大会
セッションID: M45
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主催: 社団法人精密工学会

光弾性変調器を用いた反射型の偏光計によるナノ構造評価
*田辺 実葉, 桑垣内 智仁, 大谷 幸利
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キーワード: ナノ構造評価, エリプソパラメータ, 厳密波結合解析
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抄録
本研究は光弾性変調器を用いた反射型の偏光計によりナノ構造の評価を目的とする．ここで得られるエリプソパラメータと厳密波結合解析（RCWA）との比較によりナノ構造の評価の可能性を示した．
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© 2008 公益社団法人　精密工学会
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