結合部接触熱抵抗の高精度測定評価法についての一考察

抄録

これまで，真空中および大気中において結合部の接触率に基づいて接触熱抵抗を測定・評価してきた．しかしながら，同じ接触率であっても，接触熱抵抗の測定結果に再現性が得られないことがあった．そこで，その要因について考察することにより，結合部接触熱抵抗の高精度測定評価法について検討する．