スプレイ式洗浄の粒子解析と洗浄力に関する考察

二流体スプレイと高圧マイクロジェットの洗浄力比較

抄録

スプレイ式洗浄ツールの粒子挙動と洗浄力の関係を解明する研究の一環として、 二流体スプレイについて，Polystyrene latex sphereを付着させたガラス基板での洗浄実験を行なった。比較として同じスプレイ洗浄ツールの高圧マイクロジェットについても洗浄実験を実施した．その結果、２つの方式にはその構造に起因する特徴が存在し、二流体スプレイの洗浄力はHPMJに比べノズルと基板間の距離，ノズル中心からの距離に大きく依存することがわかった。