形状変形制御可能な型に用いるPLZT セラミックスの特性検証

抄録

紫外線を照射することにより形状が変形するPLZTセラミックスを型に使用した、マイクロ成形システムについて提案している。本システムは、型を任意の形状へ変形させ、光硬化性樹脂を充填し、部品を作成するものである。開発の第一ステップとして、PLZTセラミックスの特性を検証するための計測装置を開発し、紫外線照射時間に対するPLZTセラミックス変位の量とその応答性等の特性検証を行った。