カーボンナノチューブプローブを用いたSi微細表面形状のナノ計測

抄録

本研究は、カーボンナノチューブ（CNT）AFMプローブを用いたシリコン微細表面形状のナノスケール計測について検討したものである。微細矩形溝を有するSiパターンの表面を多層CNTプローブおよび従来のSiプローブを用いて測定し、得られた表面トポグラフィの相違を比較検討した。CNTプローブは、従来のSiプローブに比べて、高い面内分解能を有し、特に急斜面を有する突起や深い溝形状の計測に適していることが示された。