カーボンナノピラーにおける熱励起機械振動の振幅評価

野中 啓一郎; 田丸 耕二郎; 永瀬 雅夫; 山口 浩司; 割澤 伸一; 石原 直

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.345.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: D82

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.345.0

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主催: 社団法人精密工学会

カーボンナノピラーにおける熱励起機械振動の振幅評価

*野中啓一郎, 田丸耕二郎, 永瀬雅夫, 山口浩司, 割澤伸一, 石原直

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キーワード: 熱励起機械振動, 振幅, カーボンナノピラー, 走査電子顕微鏡, ばね定数, FIB-CVD

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抄録

熱雑音によって励振されたピラー構造の機械振動に対して，ピラー先端の振幅を走査電子顕微鏡（SEM）像から評価した．振幅が最大となるピラー先端において，SEM画像は振動によりぼけており，このぼけ具合から振幅の評価を試みた．測定試料には，直径100 nm，高さ5-30 μm程度のカーボンナノピラーを使用した．SEM画像から評価した振幅とエネルギー等分配則から，ピラーのばね定数について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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