電解液ジェット加工によるディンプルソーワイヤの製作

抄録

ソーワイヤによるシリコンウェーハなどのスライシング工程において，遊離砥粒のキャリー効率を向上させる方法として，表面上に多数の微細ディンプルを有するワイヤを用いることが提案されている．本研究では，クラックや加工変質層などの発生の問題がない電解液ジェット加工により微細ディンプルを有するソーワイヤの製作を実現することを目的とし，連続加工中におけるノズルのつまりや消耗について調査を行った．