弾性支持バネ機構の変位量に基づく力フィードバック制御

抄録

現在の微小硬さ試験機は，荷重範囲0.001～20Nを精度良く試験する装置は開発されていない．また，この範囲の荷重を測定する力センサも市販されていない．著者らは，これまでにボイスコイルモータと弾性支持バネを組み合わせた機構を提案し，位置決めや力制御性能を検証してきた．本研究では，力と変位が高い線形性を有する本機構の特徴を生かし，弾性バネの変位量から高精度に力制御する方法について検討した結果を報告する．