新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め

伊藤 優一; 大塚 二郎; 金 弘中; 柴田 均; 増田 郁朗; 斉藤 馨; 恩田 一; 田中 淑晴; 大澤 洋文

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.521.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F77

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.521.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

新型リニアアクチュエータとリニアモーションボールガイドを用いたサブナノメートルレベル分解能の位置決め

*伊藤優一, 大塚二郎, 金弘中, 柴田均, 増田郁朗, 斉藤馨, 恩田一, 田中淑晴, 大澤洋文

著者情報

*伊藤優一
静岡理工科大学大学院理工学研究科システム工学専攻大塚研究室
大塚二郎
静岡理工科大学大学院理工学研究科システム工学専攻大塚研究室
金弘中
日立製作所モータイノベーションセンタ
柴田均
日立製作所モータイノベーションセンタ
増田郁朗
静岡理工科大学客員教授
斉藤馨
オプトワン代表取締役
恩田一
静岡理工科大学電気電子工学科
田中淑晴
豊田工業高等専門学校機械工学科
大澤洋文
浜松工業技術支援センター機械技術スタッフ

キーワード: リニアアクチュエータ, サブナノメートル分解能, 超精密位置決め, PIDフィードバック制御

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抄録

新型リニアアクチュエータ(呼称:トンネルアクチュエータ日立製)とリニアモーションボールガイド,0.034nm分解能変位フィードバックセンサを用いて20kg質量のステージをPID制御で位置決めし,分解能0.3nm,100μmステップの応答を繰り返してかたより誤差0.04nm,ばらつき誤差0.09nmを得た．

責任著者(Corresponding author)

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