静圧空気案内面の微小空孔に起因する微小振動抑制法の提案

抄録

静圧空気案内において，微小空孔（ポア）の存在する案内面上をスライダが通過すると垂直方向に微小な動的変位が生じ，案内精度を低下させるという問題がある．そこで，本研究では，ポアに起因する動的変位発生のメカニズムを実験とシミュレーションの両面から解析し，得られた結果に基づいて動的変位を抑制可能な軸受パッド形状を提案した．