差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め 同軸二重差動ボールねじの試作

深田 茂生; 石部 陽雅; 藤森 俊光; 宮島 惇; 本橋 茂之; 田村 保幸

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.525.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: F80

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.525.0

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主催: 社団法人精密工学会

差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め

同軸二重差動ボールねじの試作

*深田茂生, 石部陽雅, 藤森俊光, 宮島惇, 本橋茂之, 田村保幸

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キーワード: ボールねじ, 超精密位置決め, 差動機構

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抄録

本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を，差動ボールねじを用いて実現することを目的とする．前報までに，直列型の差動ボールねじを用いた位置決め機構について検討を行ってきたが，装置全体が長大になるという欠点があった．そこで本報では，わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを提案し，試作結果について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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