永久磁石ハイブリッド小型磁気軸受の開発

FEMを用いた磁気軸受設計およびゼロパワー制御適用時の軸位置制御特性

抄録

永久磁石ハイブリッド磁気軸受の軸吸引力をFEMによって解析し，電流に対して吸引力が線形となる軸受を試作．ゼロパワー制御を適用した制御系を構成．鉄心最大径38mm，厚さ10mm形状で，位置決め精度±0.25μｍの軸位置制御性能を確認した．磁気中心位置では最低電力での軸保持が可能である．