トンネル電流領域での接触感知を用いた高精度工具位置だし技術の開発（第２報）

抄録

ナノメータ加工での工具とワークの相対位置だし技術の開発を目的とし，クロスさせたSUS棒材を接近させるモデル実験を行った。STMに用いられる電圧，電流領域を用いることで20nm程度の位置決めが可能であることを示した。また，棒材の材質を変えたときの精度の違いや位置だし後の表面の損傷，ダイヤモンドバイトに金を蒸着し接触感知を行った場合の結果について述べる。