サブメートル級ナノ粒子配列膜製造技術の開発（３）

抄録

筆者らは、電場や光などの外部刺激を用いてナノ粒子をナノメータ寸法精度で自己組織的に配列させることが可能な、物理的に統制された自己組織化プロセスの開発をおこなっている。本発表では、電極上に作製した欠陥構造に対して垂直方向に電界を印加し、開口部に発生する電界集中効果を利用したナノ粒子の精密配列について報告する。さらに、オフセット電圧によるナノ粒子への偏心運動が配列構造に及ぼす効果についても検討した。