フォトニックナノジェットを用いたアブレーション加工における衝撃波を利用した加工深さのインプロセス計測に関する研究

抄録

レーザ微細加工技術として，フォトニックナノジェット(PNJ)を用いたアブレーションが注目され，高精度化が求められている．PNJは，誘電体マイクロ球にレーザを照射すると発生する微小なビームである．本研究では，アブレーションで発生する衝撃波の伝搬特性に着目した加工深さのインプロセス計測手法を提案する．本報告では，PNJを用いたアブレーションを行い，マイクロ球にかかる圧力と加工深さの関係を実験的に示す．