小型自走機械群による超精密生産機械システム

第111報 一歩内動作における自走機械の移動量計測

抄録

従来、小型自走機械はオープンループで制御している為自動化が難しいという問題点があった。自走機械が小型である為搭載できるセンサに制限があり、より汎用性の高いフィードバックシステムの構築が困難であった。本研究ではフィードバックシステムによるナノオーダの超精密位置決めを目指す。小型自走機械を超精密移動させる為の動作及びリニアエンコーダを用いたフィードバックシステムを開発し、その結果について報告する。