精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会春季大会
セッションID: K14
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HSAB則を用いた結晶成長配向予測手法の提案
*山本 博之槌谷 和義上辻 靖智
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抄録
一般的な圧電材料であるPZTやBaTiO3は,<111>配向において最も高い圧電性を示すことが報告されている.一方,新規圧電候補材料であるMgSiO3薄膜は,バッファ層上での優先配向が未知であることから制御が困難であり,圧電性が低い.したがって,本研究では圧電性の向上を目的とし,薄膜とバッファ層との界面での,HSAB則を用いた相互作用エネルギを評価値とした結晶成長配向予測手法の提案を行った.
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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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