小型自走機械群による超精密生産機械システム

第113報 チルティングステージの保持機構およびθ回転制御方式の開発

抄録

本研究室では圧電素子による慣性駆動方式の超小型ロボットとその上に搭載する3点支持式チルティングステージを開発し，SEM内での運用を目指している．しかし，これらの機構では位置の保持が困難であるという問題があった．本報ではチルティングステージの位置を精密に保持する小型かつ簡便なクランプ機構を提案し，その性能について報告する．またチルティングステージをθ回転させる新たな制御方式を実験より求める．