DLCコーティングされたステンレス鋼材料の耐腐食性評価

鈴木 勝基; 大曽根 祐樹; 村上 碩哉; 大竹 尚登

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.911.0

2008年度精密工学会春季大会

セッションID: K17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008S.0.911.0

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主催: 社団法人精密工学会

DLCコーティングされたステンレス鋼材料の耐腐食性評価

*鈴木勝基, 大曽根祐樹, 村上碩哉, 大竹尚登

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キーワード: DLC膜, 腐食, ステンレス, CV測定

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抄録

ダイヤモンド状炭素膜（DLC）膜は低摩擦係数・耐摩耗性の高さを生かし，既に多くの機械部材及び工具の耐摩耗性コーティングとして用いられている．近年，成膜不良やマイクロポア等に起因する基板材料の腐食が問題点として指摘されている．本研究はDLC膜と基板材料との腐食挙動の解明を目的とし，パルスプラズマCVD法によってステンレス基板上にDLC膜を合成し，その腐食挙動を分極曲線を用いた電気化学計測により評価したものである．

責任著者(Corresponding author)

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