真空加熱処理によるTiN-MoS2複合膜の機械的特性向上の検討

鈴木 敬之介; 神崎 昌郎

doi:10.11522/pscjspe.2008S.0.909.0

抄録

工具や機械部品に広く用いられている窒化チタン膜に対し，低摩擦材料である二硫化モリブデンを添加したTiN-MoS₂複合膜はDLC膜に匹敵する優れた低摩擦特性を示した．しかし，二硫化モリブデンの添加により複合膜は非晶質化し，硬度および密着力が低下した．そこで，複合膜を真空加熱処理することにより結晶化を促し，硬度，密着力および摩擦特性の向上を目指した．

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